
股票代碼:873816
深水牌超聲波水表是基于MEMS技術的超聲波流量傳感器,與傳統的壓電陶瓷(PZT)超聲波傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。微機械加工工藝的進步,利用異質集成技術,將傳感元件和電子調節元件集成到MEMS元件中,體積、功耗和成本得到大幅降低,減少了器件之間的互連,干擾得到有效抑制,可以獲得更快的響應和更緊湊的產品設計,對緩慢流速流體的測量穩定性、準確性具有更好的表現。
· 微機電系統(Micro-Electro-Mechanical System,簡稱:MEMS)是指可批量制作的集微型傳感器、執行器、機械結構、電源能源、信號處理、控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微米或納米級器件或系統。
· 基于MEMS技術的超聲波流量傳感器,與傳統的壓電陶瓷超聲波傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。


